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翹曲度測量儀的功能優點體現在哪里

更新時間:2020-11-02  |  點擊率:2285

美國FSM成立于1988年,總部位于圣何塞,多年來為半導體行業等高新行業提供各式精密的測量設備。

美國FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量儀特殊功能優點:

1、*封閉的設計,溫度更穩定。

2、特殊的設計使震動偏移降到較低。


3、圖形式使用界面更容易使用。


4、當改變彈性模數,晶圓或薄膜厚度設備會自動重新計算應力保存數據文檔。


5、可以計算雙軸彈性模量和線膨脹系數。


6、可以計算應力的均勻性。


7、可以輸出數據到Excel ,提供給SPC 分析。


8、多重導向銷設計,手動裝載樣品,有優異的重復性與再現性研究。


9、優異的分辨率測量0.2um弓形高度變化超過 20M 的平鏡(大約 0.8%)


10、FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量儀全3D測繪的手動旋轉平臺。


11、測量局部應力測量42 點/mm 并大于8400 點/200mm晶圓。這種測量密度獲得更好的信號噪聲比。


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