国产成人午夜视频-国产成人午夜无码电影在线观看-国产成人午夜性a一级毛片-国产成人午夜性视频影院-国产成人系列-国产成人香蕉在线视频fuz

當前位置:首頁  >  產品中心  >    >  EVG鍵合機  >  EVG301超聲波晶圓清洗機 熔融/混合鍵合

超聲波晶圓清洗機 熔融/混合鍵合

簡要描述:EVG301 超聲波晶圓清洗機 熔融/混合鍵合采用一個清潔工作臺,使用標準DI水沖洗以及超聲波,刷子和稀釋化學品清潔晶圓作為額外的清潔選項。

  • 產品型號:EVG301
  • 廠商性質:代理商
  • 產品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 2871

詳細介紹


EVG301 超聲波晶圓清洗機 熔融/混合鍵合

研發型單晶圓清洗系統


一、簡介

EVG301 超聲波晶圓清洗機 熔融/混合鍵合采用一個清潔工作臺,使用標準DI水沖洗以及超聲波,刷子和稀釋化學品清潔晶圓作為額外的清潔選項。通過手動加載和預對準,EVG301是一種多功能研發型系統,可實現靈活的清潔程序,支持300 mm晶圓。EVG301系統可與EVG的晶圓對準和鍵合系統結合使用,在晶圓鍵合之前清除任何顆粒。旋轉夾頭可用于不同的晶圓和基片尺寸,以便輕松配置不同的工藝。


二、特征

使用1 MHz兆聲波噴嘴或區域傳感器進行高效清潔(可選)

刷子擦洗,用于單面清潔(可選)

用于晶圓清洗的稀釋化學品

防止從背面到正面的交叉污染

*由軟件控制清潔過程


三、可選項

帶IR檢測的預鍵合臺

用于非SEMI標準基片的工具


四、參數

1、晶圓尺寸:200mm,100-300mm

2、清洗系統:

打開腔室,旋轉器和清潔臂

3、腔室:由PP或PFA制成(可選)

4、清潔介質:去離子水(標準),其他清潔介質(可選)

5、旋轉夾頭:真空夾頭(標準)和邊緣處理夾頭(可選)由金屬離子和清潔材料制成

旋轉:高達3000 rpm(5秒內)

6、超聲波噴嘴:

頻率:1 MHz(3 MHz選項)

輸出功率:30 - 60 W

去離子水流量:高達1.5升/分鐘

有效的清潔區域:?4.0mm

材質:PTFE




產品咨詢

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
主站蜘蛛池模板: 色综合久久88色综合天天 | 日本久久精品视频 | 欧美成人天天综合在线视色 | 国产毛片精品 | 欧美影院 | 欧美久久久久欧美一区 | 日韩一级黄色录像 | 国语自产偷拍精品视频偷最新 | 亚洲精品国产精品一区二区 | 日本人一级毛片视频 | 成人精品一区二区久久 | 欧美激情欧美狂野欧美精品免费 | 国产精品欧美一区二区在线看 | 成人短视频在线免费观看 | 国产精品欧美韩国日本久久 | 精品国产日韩亚洲一区二区 | 7777精品伊人久久久大香线蕉 | 涩色涩| 波多野结衣一区二区在线 | 日本xoxo| 中文字幕一区二区三区视频在线 | 国产精品国产 | 中国大陆高清aⅴ毛片 | 日韩欧美亚洲每的更新在线 | 亚洲欧美日韩国产综合 | 69做爰视频在线观看 | 国产啪视频1000部免费视频 | 欧美在线成人免费国产 | tobesex日本护士 | 老司机深夜福利影院 | 亚洲免费人成在线视频观看 | 另类图片色 | 精品国产品香蕉在线观看75 | 欧美一区二区三区视频在线 | 高清不卡视频 | 一二三区无线码2021 | 91精品国产综合久久久久久 | 亚洲激情综合 | 欧美视频在线网站 | 色综合久久综合欧美综合网 | 日日艹夜夜 |