国产成人午夜视频-国产成人午夜无码电影在线观看-国产成人午夜性a一级毛片-国产成人午夜性视频影院-国产成人系列-国产成人香蕉在线视频fuz

當前位置:首頁  >  產品中心  >  EVG鍵合機  >  晶圓鍵合機  >  ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統

ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統

簡要描述:ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統 應用:高真空晶圓鍵合平臺促進“任何物上的任何東西"的共價鍵合

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 產品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 3080

詳細介紹

 ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統應用:高真空晶圓鍵合平臺促進“任何物上的任何東西”的共價鍵合

一、簡介
EVG ComBond高真空晶圓鍵合平臺(晶圓鍵合機)標志著EVG*的晶圓鍵合設備和技術產品組合中的一個新里程碑,可滿足市場對更復雜的集成工藝的需求。

EVG ComBond支持的應用領域包括先進的工程襯底,堆疊的太陽能電池和功率器件到端MEMS封裝,高性能邏輯和“beyond CMOS”器件。EVG ComBond系統的模塊化集群設計提供了高度靈活的平臺,可以針對研發和高通量,大批量制造環境中的各種苛刻的客戶需求量身定制。

EVG ComBond(晶圓鍵合機)促進了具有不同晶格常數和熱膨脹系數(CTE)的異質材料的鍵合,并通過其*的氧化物去除工藝促進了導電鍵界面的形成。EVG ComBond(晶圓鍵合機)高真空技術還可以實現鋁等金屬的低溫鍵合,這些金屬在周圍環境中會迅速重新氧化。對于所有材料組合,都可以實現無空隙和無顆粒的鍵合界面以及出色的鍵合強度。

ComBond-自動化的高真空晶圓鍵合系統特征
高真空,對準,共價鍵合
在高真空環境(<5·10 -8 mbar)中進行處理
原位亞微米面對面對準精度
高真空MEMS和光學器件封裝原位表面和原生氧化物去除
優異的表面性能
導電鍵合
室溫過程
多種材料組合,包括金屬(鋁)
無應力鍵合界面
高鍵合強度
用于HVM和R&D的模塊化系統 
多達六個模塊的靈活配置
基板尺寸大為200毫米
*自動化

三、技術數據
真空度
       處理:<7E-8 mbar
       處理:<5E-8毫巴

集群配置
       處理模塊:小3個,大6個
       加載:手動,卡帶,EFEM

可選的過程模塊:
       (晶圓鍵合機)鍵合模塊
         ComBond 激活模塊(CAM)
       (晶圓鍵合機)烘烤模塊
         真空對準模塊(VAM)

晶圓直徑:高達200毫米 

 

 

產品咨詢

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7
主站蜘蛛池模板: 成人短视频在线免费观看 | 日本一区精品 | 天天操天天草 | 亚洲精品色综合色在线观看 | 日韩每日更新 | 亚洲成人性视频 | 99久久香蕉 | 国产久爱青草视频在线观看 | 6080一级毛片 | 91免费视频国产 | 99视频在线免费观看 | 久久久久青草 | 四虎成人免费观看在线网址 | 亚色视频在线观看 | 一级特黄aaa大片在线观看 | 成人网在线观看 | 欧洲a视频 | 日韩亚州 | 色玖玖| 99久久国产综合精品五月天 | 97精品久久天干天天蜜 | 四虎影院新网址 | 999久久久免费精品国产牛牛 | 青草久草视频 | 亚洲精品一区二区伦理 | 日韩欧美一区二区三区四区 | 中文字幕第一区 | 欧美一级毛片欧美一级无片 | 国产一区二区久久久 | 国产精品国产高清国产专区 | 四虎永久免费最新在线 | 精品动漫一区二区三区 | 日韩特级毛片 | 一级看片免费视频 | 九九热精品免费 | 亚洲四房 | 一区国严二区亚洲三区 | 天天爽 | 色日本在线 | 久久婷婷午色综合夜啪 | 黄色免费观看视频网站 |