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產(chǎn)品分類
Product Category
EVG620 NT-掩模對準光刻機系統(tǒng)
FR-pRoThetametrisis膜厚測量儀
EVG610納米壓印光刻系統(tǒng)
EVG6200 NT掩模對準光刻系統(tǒng)
HERCULESEVG量產(chǎn)型光刻機系統(tǒng)
FR-Scanner：自動化高速薄膜厚度測量儀
FR-pRo：Thetametrisis膜厚測量儀
FR-Scanner自動化高速薄膜厚度測量儀
EVG540-晶圓鍵合自動化系統(tǒng)
GEMINI FB XTEVG晶圓鍵合自動生產(chǎn)系統(tǒng)
Orzew FC20/FC20X全自動晶圓關鍵尺寸檢測及分選機
EVG850 DB自動解鍵合系統(tǒng)
CI8化合物半導體SiC、GaN晶圓檢查裝置
EVG7300多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)
LAS-P-VIS™ 定心儀（偏心儀）
AVI-400Herz AVI系列主動式防震臺
TS-150高精度主動減振平臺
KOSAKA - ET4000臺階儀